electron beam patterning

英 美
  • 电子束成象
  • beam vi.微笑;发光vt.播送;发射;用梁支撑n.桁条;光线;(光线的)束;(横)梁
  • electron n.电子
  • patterning n.制作布线图案(集成电路的图案形成)